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干式真空泵的详细介绍

作者:  浏览量:174  发布时间:2018-11-30 11:15:45  

  干式真空泵是指可以从大气压泵送空气的泵,可以将气体直接排放到大气中。泵室内没有油或其他工作介质,泵的极限压力与油封真空泵的压力相同或接近。机械真空泵目前,大多数机械真空泵使用油,水或其他流体作为泵的工作介质,其用作泵中的冷却,密封和润滑。

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  随着科学技术的发展和真空应用的扩展,原有的真空泵存在两个亟待解决的问题:一是泵的工作原理解释了泵送容器的回流污染,在很多情况下影响了质量和产品的数量,并增加设备。维修费用;其次,由于某些过程中的反应材料导致真空泵中介质的劣化,泵不能正常工作。此时使用干式真空泵。

  干式真空泵的应用主要有以下几个方面:低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺半导体蚀刻工艺,其中经常使用或产生腐蚀性气体和磨料颗粒。除了半导体工艺之外,一些产生颗粒的工艺不希望颗粒混入泵油中,并且希望使用某种类型的干式真空泵来满足要求。

  在化学工业,制药工业,食品工业,蒸馏,干燥,消泡,包装等方面,防止被有机溶剂污染,适用于干式真空泵。用作一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。

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